当前位置：采购意向项目详情
中国科学院微电子研究所2026年7月政府采购意向-光学膜厚仪 详细情况
2026年04月28日 09:26 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 光学膜厚仪 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院微电子研究所2026年7月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 光学膜厚仪 |
| 预算金额： | 1000.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02110205集成电路参数测量仪 |
| 采购需求概况 ： | 用于集成电路制造工艺中氧化、CVD、PVD、ALD、光刻、刻蚀、CMP等关键工艺的薄膜参数在线厚度监控需求。该设备可对SiO？、SiN、SiON、SiCO、APF、a？Si、High？K、金属栅等各类单层/多层薄膜的膜厚、复折射率（n&k）、反射率、薄膜应力进行稳定、高精度、高产能量测 |
| 预计采购时间： | 2026-07 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。