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中国科学技术大学2022年1至12月政府采购意向-高真空电子蒸发镀膜 详细情况

2022年02月15日 11:20 来源: 中国政府采购网 打印

高真空电子蒸发镀膜
项目所在采购意向: 中国科学技术大学2022年1至12月政府采购意向
采购单位: 中国科学技术大学
采购项目名称: 高真空电子蒸发镀膜
预算金额: 260.000000万元(人民币)
采购品目:
A033499其他专用仪器仪表
采购需求概况 :
通过蒸发方式实现金属、非金属镀膜。在高真空下,电子枪灯丝加热后发射热电子,被加速阳极加速,获得很大的动能轰击到的蒸发材料上,把动能转化成热使蒸发材料加热气化,而实现蒸发镀膜。电子束蒸发源由发射电子的热阴极、电子加速极和作为阳极的镀膜材料组成。电子束蒸发源的能量可高度集中,使镀膜材料局部达到高温而蒸发。通过调节电子束的功率,可以方便的控制镀膜材料的蒸发速率,特别是有利于高熔点以及高纯金属和化合物材料。主要用于金刚石传感器制备过程中所必要的镀膜工艺,其中包括:Ti、Cr、Ni、Au、Ag、SiO2等特殊金属和非金属镀膜。
预计采购时间: 2022-05
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。