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清华大学2022年12月政府采购意向-紫外-可见-红外显微椭偏仪 详细情况
2022年11月30日 18:39 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 紫外-可见-红外显微椭偏仪 | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 紫外-可见-红外显微椭偏仪 |
| 预算金额： | 150.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100699其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况 ： | 拟采购紫外-可见-红外显微椭偏仪1台，技术参数需求：
光谱范围：210-2500nm。
入射角：计算机控制45度到90度可变，角度重复性优于0.01度。
样品对准：z轴最大行程18mm，配置自动俯仰调节。
光斑：普通光斑4mm直径，聚焦微光斑直径小于等于150微米。
光斑定位相机：视场2.1 X 1.6 mm，工作距离77mm
补偿技术：消色差、双旋转补偿。
探测器：无光纤设计双探测器同时测量
自动平移台：200mm(8寸) X/Y自动平移 （向下兼容）
数据采集时间：单点全光谱测量（测试光谱点大于等于1000点，标准或穆勒矩阵）最快0.3秒
测试准确性：在直射状态下，测量空光束45加减0.03度，退偏振: 0% 加减 0.5% 15个归一化穆勒矩阵元 对角线: 1 加减 0.005 非对角线: 0 加减 0.005（10秒平均时间测量，95％的被测波长满足该指标）
测量重复性：膜厚测量优于0.005nm（SiO2（25nm）/Si） |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。