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中山大学2022年7月政府采购意向-微电子科学与技术学院离子束刻蚀机采购项目 详细情况
2022年06月20日 17:13 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 微电子科学与技术学院离子束刻蚀机采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2022年7月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | 微电子科学与技术学院离子束刻蚀机采购项目 |
| 预算金额： | 195.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100503工艺试验机 |
| 采购需求概况 ： | 离子束刻蚀机，数量：1台。该设备用于学院科研使用。技术要求：支持样品尺寸：4 英寸向下兼容，兼容各种小尺寸样品；离子源：离子能量 (50 ~ 1500) ± 2 V，离子通量 (100 ~ 1500) ± 2 mA，束流准直性 < ± 5°，束流不均匀性 < ± 2 %，500 h工艺稳定时间；样品控温：-30 ℃ ~ 室温；样品台：0 ~ 50 rpm 旋转 / 0 ~ 90° 倾斜 / 低温，三维度功能共存； 刻蚀速度：1 ~ 100 nm/min； 刻蚀均匀性：± 5 %。交付时间要求：签订合同后三个月内。交付地点要求:中山大学珠海校区公共实验楼2层。售后服务要求（含培训）：1.设备原厂免费保修期不少于2年，时间自最终验收合格并交付使用之日起计算；2.供应商须在发货前协助用户完成安装条件的准备工作；3.收到用户安装条件就绪的通知后，安装工程师3天内到安装现场进行设备的安装和调试；4.保修期内如用户在产品使用过程中出现故障，保修承担方须在接到故障通知后即时响应，并在48小时内安排上门服务，如故障需要更换零配件，保修承担方须在7个工作日内将配件调配到位并将设备维修好；5.每年至少提供一次免费上门检修服务。 |
| 预计采购时间： | 2022-07 |
| 备注： | 欢迎供应商提前参与该项目的购前调查，以便采购人更好地了解贵公司和相关产品与服务的优势。请复制以下链接，用浏览器粘贴打开调查页面。https://survey.choicelink.cn/sysu/PurchaseIntention?id=71b14723620b4c84b64d8cbb9f5fbf20&tenant=2198&token=1 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。