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中国科学技术大学2023年4至6月政府采购意向-介质刻蚀机 详细情况
2023年03月14日 16:26 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 介质刻蚀机 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学技术大学2023年4至6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学技术大学 |
| 采购项目名称： | 介质刻蚀机 |
| 预算金额： | 800.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02109900其他仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 用于干法刻蚀CMOS工艺兼容介质材料，图形化绝缘层，用作器件隔离、硬掩模等，实现非等向性及高深宽比刻蚀。集成刻蚀终点控制，机台支持8英寸基片并向下兼容。年度运行天数大于300天、时间大于2400小时。 |
| 预计采购时间： | 2023-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。