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中国科学技术大学2023年4至6月政府采购意向-椭偏仪 详细情况

2023年03月14日 16:26 来源: 中国政府采购网 打印

椭偏仪
项目所在采购意向: 中国科学技术大学2023年4至6月政府采购意向
采购单位: 中国科学技术大学
采购项目名称: 椭偏仪
预算金额: 150.000000万元(人民币)
采购品目:
A02109900其他仪器仪表
采购需求概况 :
用于测量薄膜厚度、折射率、消光系数、表征微结构信息。光谱范围覆盖UV至近红外波段,探测器高灵敏度、高动态范围。测量范围Psi=0-90?,Delta=0-90?。样品台支持8英寸及以下基片,样品台可自动平移支持扫描模式。入射角自动调节。支持微光斑。提供软件包及授权使用,用于测量、校准和分析。软件支持复合结构数据分析、建模、有效介质建模、各向异性材料建模等功能。年度运行天数大于300天、时间大于2400小时。
预计采购时间: 2023-06
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。