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浙江大学2025年9月政府采购意向-无掩模光刻机 详细情况
2025年08月27日 22:53 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 无掩模光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | 浙江大学2025年9月政府采购意向 |
| 采购单位： | 浙江大学 |
| 采购项目名称： | 无掩模光刻机 |
| 预算金额： | 85.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100399+其他光学仪器 |
| 采购需求概况 ： | 无掩模光刻机，用于微流控芯片加工中SU-8光胶光刻，数量1台，380nm激光光源，分辨率1920×1080，最小线宽2μm，支持机器视觉智能主动对焦功能、交互式套刻指引功能、原位绘制光刻图形、实时光刻图形的预览功能，支持样品图形和光刻图形绑定，实时对应，支持光刻图形算法畸变矫正，实现精准套刻，支持阵列画图、套刻画图 |
| 预计采购时间： | 2025-09 |
| 备注： | 无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。