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华中科技大学2025年11至1月政府采购意向-多层WL沟道孔刻蚀以及填充工艺 详细情况
2025年10月31日 17:58 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 多层WL沟道孔刻蚀以及填充工艺 | |
| 项目所在采购意向： | 华中科技大学2025年11至1月政府采购意向 |
| 采购单位： | 华中科技大学 |
| 采购项目名称： | 多层WL沟道孔刻蚀以及填充工艺 |
| 预算金额： | 190.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | C01031300电子、通信与自动控制技术研究服务 |
| 采购需求概况 ： | 多层WL沟道孔刻蚀以及填充工艺，先按照要求交替生长SiN和OX，按照设计进行深孔工艺，并生长多晶硅作为沟道。
1. 提供设计晶圆，12英寸。
2. 按照要求加工，完成SiN和OX的堆叠。
3. 按照设计进行深孔刻蚀。
4. 填充 poly Si 作为沟道。 |
| 预计采购时间： | 2025-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。