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北京科技大学2025年7至12月政府采购意向-集成电路介电材料多模式沉积镀膜系统 详细情况
2025年07月01日 17:44 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 集成电路介电材料多模式沉积镀膜系统 | |
| 项目所在采购意向： | 北京科技大学2025年7至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 北京科技大学 |
| 采购项目名称： | 集成电路介电材料多模式沉积镀膜系统 |
| 预算金额： | 860.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02109900其他仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | （一）采购标的名称：集成电路介电材料多模式沉积镀膜系统
（二）采购标需实现的主要功能或者目标
本次购置的拟采购的集成电路介电材料多模式沉积镀膜系统可用于高质量金属、栅介质层、扩散阻挡层材料的可控沉积，具体包括Pt、HfO2、ZrO2、Al2O3、La2O3、SiO2、SiNx、TiN、AlN等。
（三）采购标的数量：1套
（四）采购标需满足的质量、服务、安全、时限等要求。
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| 预计采购时间： | 2025-08 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。