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华中科技大学2025年4至11月政府采购意向-金属刻蚀机 详细情况
2025年03月12日 16:14 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 金属刻蚀机 | |
| 项目所在采购意向： | 华中科技大学2025年4至11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 华中科技大学 |
| 采购项目名称： | 金属刻蚀机 |
| 预算金额： | 600.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02330300电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 采购数量：1台，现场调试时间不小于一周，验收完成以后保修期3年。
1、基片尺寸：8英寸，可选8/6/4英寸电极，适用于不同尺寸的晶圆
2、RF-ICP离子源，刻蚀均匀性（1 σ）达到< 1.0%
3、样品台可偏转（tilt），偏转范围：0°到+160°，实现离子束倾斜入射
4、工艺过程中，样品台可自转
5、提供单腔式和多腔式等多种腔室搭配方式 |
| 预计采购时间： | 2025-07 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。