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南京航空航天大学2022年3至10月政府采购意向-纳尺度深刻加工系统 详细情况
2022年02月21日 11:27 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 纳尺度深刻加工系统 | |
| 项目所在采购意向： | 南京航空航天大学2022年3至10月政府采购意向 |
| 采购单位： | 南京航空航天大学 |
| 采购项目名称： | 纳尺度深刻加工系统 |
| 预算金额： | 324.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02050907-金属切割设备 |
| 采购需求概况 ： | 高精度薄膜刻蚀及沉积系统可以用于III-V族材料刻蚀、硅 Bosch和超低温刻蚀、二氧化硅和石英刻蚀、失效分析的干法刻蚀解剖，可以处理封装好的芯片、裸晶片以及200mm晶圆，并用于高亮度LED生产的硬掩模的沉积和刻蚀。该设备可以实现二维材料、二氧化硅、氮化硅等材料高精度制备，同时可以为半导体材料的研究提供强有力的加工工具，对力学、材料、信息等领域的研究有很大的帮助。 |
| 预计采购时间： | 2022-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。