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南京航空航天大学2022年3至10月政府采购意向-纳尺度深刻加工系统 详细情况
2022年02月21日 11:27 来源: 中国政府采购网 【打印】
纳尺度深刻加工系统 | |
项目所在采购意向: | 南京航空航天大学2022年3至10月政府采购意向 |
采购单位: | 南京航空航天大学 |
采购项目名称: | 纳尺度深刻加工系统 |
预算金额: | 324.000000万元(人民币) |
采购品目: | A02050907-金属切割设备 |
采购需求概况 : | 高精度薄膜刻蚀及沉积系统可以用于III-V族材料刻蚀、硅 Bosch和超低温刻蚀、二氧化硅和石英刻蚀、失效分析的干法刻蚀解剖,可以处理封装好的芯片、裸晶片以及200mm晶圆,并用于高亮度LED生产的硬掩模的沉积和刻蚀。该设备可以实现二维材料、二氧化硅、氮化硅等材料高精度制备,同时可以为半导体材料的研究提供强有力的加工工具,对力学、材料、信息等领域的研究有很大的帮助。 |
预计采购时间: | 2022-10 |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。