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中山大学2022年11至5月政府采购意向-材料学院紫外光刻机采购项目 详细情况
2022年10月13日 22:58 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 材料学院紫外光刻机采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2022年11至5月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | 材料学院紫外光刻机采购项目 |
| 预算金额： | 180.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100399其他光学仪器 |
| 采购需求概况 ： | 拟采购1台紫外光刻机。
1) 500瓦近紫外光源，紫外波长范围365-450nm；
2) 可达到输出紫外光强照度参数如下：
365 nm – 18-20 mw/cm2
400 nm – 35-50 mw/cm2
3) 光刻有效范围 8英寸方形；
4) 光照强度不均匀性指标（以365nm波长为参考）辐照中心点8英寸范围内:
±3%，200mm″晶圆基板；
±2%，150mm″晶圆基板；
±1%，100mm″晶圆基板；
5) 光刻最佳分辨率≤0.6微米
6) 正面对准精度≤±0.5 微米，背面对准精度≤±1um-≤±2 um
7) 对准工作台调整范围：X轴±12.5mm，Y轴±12.5mm，θ角±5°，Theta精度：±0.0001度；
交付时间：2023年
交付地点要求：深圳校区
售后服务要求（含培训）：整机保修2年，现场安装培训和软硬件全面应用培训；免费技术咨询。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。