当前位置：采购意向项目详情
北京大学2026年9月政府采购意向-快速热退火 详细情况
2026年07月14日 09:07 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 快速热退火 | |
| 项目所在采购意向： | 北京大学2026年9月政府采购意向 |
| 采购单位： | 北京大学 |
| 采购项目名称： | 快速热退火 |
| 预算金额： | 124.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02330300电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 本设备用于MEMS工艺中薄膜退火、欧姆接触形成、掺杂激活及材料性能调控，通过快速升降温和精确温度控制实现晶圆级热处理过程的高一致性，改善薄膜结晶质量、界面性能与器件电学稳定性，支撑先进MEMS芯片研制及工艺研发。 |
| 预计采购时间： | 2026-09 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。