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中山大学2022年11至12月政府采购意向-电子与信息工程学院低压化学气相沉积炉采购项目 详细情况
2022年10月13日 10:55 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 电子与信息工程学院低压化学气相沉积炉采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2022年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | 电子与信息工程学院低压化学气相沉积炉采购项目 |
| 预算金额： | 300.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A032103电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 1套。 该设备拥有 3 套工艺管。用于 8寸及一下硅片沉积TEOS(SiO2)、Poly-Si， Si3N4 薄膜；技术要求：可控温度范：500-900℃；控温精度：±0.5℃，单点温度稳定性：±1℃/12hours，TEOS(SiO2)薄膜：片内厚度均匀性：≤±5%；片间厚度均匀性：≤±5%；炉间厚度均匀性：≤±5%，Si3N4薄膜：片内厚度均匀性：≤±5%；片间厚度均匀性：≤±5%；炉间厚度均匀性：≤±5%，POLY-Si薄膜：片内厚度均匀性：≤±5%；片间厚度均匀性：≤±5%；炉间厚度均匀性：≤±5%，交付时间要求：合同签订后8个月；交付地点要求:中山大学；售后服务要求（含培训）：保期一年，服务相应时间小于2h。。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。