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zycgr240415012025年4至10月政府采购意向-原子层沉积设备 详细情况
2025年04月16日 21:52 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 原子层沉积设备 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr240415012025年4至10月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr24041501 |
| 采购项目名称： | 原子层沉积设备 |
| 预算金额： | 750.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02062002电气物理设备 |
| 采购需求概况 ： | 1台
腔体尺寸：8英寸兼容；
基础真空：小于10 Pa；
加热控制：50℃-400℃；
气体接口：不锈钢卡套、NPT螺纹；
气体种类：臭氧、氮气、氨气、氩气；
前驱体数目：6路液态钢瓶+2路固态钢瓶+4路气体 |
| 预计采购时间： | 2025-09 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。