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中国科学院上海技术物理研究所2025年10至12月政府采购意向-异质超材料结构片上沉积生长设备 详细情况
2025年10月17日 18:36 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 异质超材料结构片上沉积生长设备 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院上海技术物理研究所2025年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 采购项目名称： | 异质超材料结构片上沉积生长设备 |
| 预算金额： | 415.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02209900其他航空航天工业设备 |
| 采购需求概况 ： | （1）6个蒸发源坩埚自动翻转伞状夹具；
（2）电子束蒸发+离子束辅助；
（3）石英晶振+光学膜厚控制系统；
（4）片内膜厚均匀性：<=士3.5%；
（5）镀膜尺寸：8英寸及以下尺寸晶圆和方片。 |
| 预计采购时间： | 2025-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。