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中山大学2022年11月政府采购意向-磁控溅射系统 详细情况
2022年10月17日 16:54 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 磁控溅射系统 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | 磁控溅射系统 |
| 预算金额： | 260.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A032103电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 设备名称：磁控溅射系统，
数量：1套。
用途：该设备用于制备混合集成光子芯片薄膜，以实现高质量的集成光波导器件，发展先进硅基集成光波导技术，支撑下一代光-无线融合通信研究。
技术要求：极限真空5E-6Pa，镀膜均匀性9寸片镀膜均匀性优于3%
交付时间要求：2022-11
交付地点要求：国重室425室
售后服务要求：设备到位后两周内安排相关技术培训 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。