A032103 电子工业专用生产设备

（1）采购标的名称：拟采购等离子体增强化学气相沉积系统（PECVD）、电感应耦合等离子刻蚀机（ICP-RIE）、化学抛光等加工设备；以及矢量分析仪、高速光探测头、探针台、激光共聚焦荧光成像仪等分析设备。 （2）主要功能或目标：用于构建以Si3N4，SiC材料为基础的新型集成光量子芯片平台，解决光量子通信、计算系统在集成扩展方面的难题。 （3）标的物数量：10台设备，分开招标 （4）标的物需满足的质量、服务、安全、时限等要求：货物需具备良好的质量保证及稳定性，货源来自原厂、正规和可靠的途径，在货物质保期内，如货物出现质量瑕疵或缺陷，供方需免费更换备件或者维修。供应商在服务期内需指定1名工程师对接我校提供技术支持与运行保障服务，提供定时巡检、技术支持、设备维保服务。供货、运输、实施时要确保货物、场地、人员安全，严格遵守学校安全管理规定和疫情防控要求。供应商需对我校师生提供免费的技术培训、操作培训及日常维护培训。设备运行期间出现故障，应尽快到现场解决。