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zycgr210708012026年7至9月政府采购意向-超高真空多腔室超导薄膜磁控溅射系统 详细情况
2026年06月16日 16:36 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 超高真空多腔室超导薄膜磁控溅射系统 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr210708012026年7至9月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr21070801 |
| 采购项目名称： | 超高真空多腔室超导薄膜磁控溅射系统 |
| 预算金额： | 3500.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100699其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况 ： | 制备高质量超导金属薄膜，满足衬底12英寸，工艺腔室极限真空优于5e-7Torr，满足量子处理器中 DL 层金属及 SIS 结多层膜需求，实现 18 天内完成单轮迭代 10 块芯片制备 |
| 预计采购时间： | 2026-08 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。