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武汉大学2022年12月政府采购意向-多体系材料电感耦合等离子体刻蚀系统 详细情况
2022年10月14日 16:06 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 多体系材料电感耦合等离子体刻蚀系统 | |
| 项目所在采购意向： | 武汉大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 武汉大学 |
| 采购项目名称： | 多体系材料电感耦合等离子体刻蚀系统 |
| 预算金额： | 450.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A032103电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： | (一)采购标的名称:多体系材料电感耦合等离子体刻蚀系统
(二)采购标的需实现的主要功能或者目标:可以实现多种半导体材料（比如InP, GaAs，GaN，SiO2, Si）的高质量刻蚀。
(三)采购标的数量:1套（包含必要的气泵和水冷系统）
(四)采购标的需满足的质量、服务、安全、时限等要求:在国内有成体系的售后服务技术团队，提供完善的售后服务，交货周期6个月以内。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。