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中国科学院宁波材料技术与工程研究所2022年6月政府采购意向-超高真空多靶磁控溅射系统 详细情况
2022年04月29日 18:00 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 超高真空多靶磁控溅射系统 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所2022年6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 采购项目名称： | 超高真空多靶磁控溅射系统 |
| 预算金额： | 199.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A021112有线电测量仪 |
| 采购需求概况 ： | 用于生长高质量的磁性薄膜、氧化物/氮化物薄膜、自旋阀和磁隧道结等。双腔体真空互联，带 load lock
背底真空优于 5E-8torr；可加热四轴超高真空样品台，衬底温度>800°C；离轴溅射功能；薄膜沉积均匀性：±2.5% @100mm 基片 |
| 预计采购时间： | 2022-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。