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zycgr210708012026年7至9月政府采购意向-全自动单片湿法清洗及刻蚀系统 详细情况
2026年06月16日 16:36 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 全自动单片湿法清洗及刻蚀系统 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr210708012026年7至9月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr21070801 |
| 采购项目名称： | 全自动单片湿法清洗及刻蚀系统 |
| 预算金额： | 6160.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02330300电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 满足量子芯片处理器工艺中的湿法前处理、颗粒物清洗等多种需求，可实现湿法清洗（SPM、RCA、SC1、SC2）及刻蚀（金属、介质薄膜等）、预浸泡、湿法去胶等功能，实现全自动单片湿法清洗及刻蚀，避免交叉污染，提升迭代速度，适配每天 30-60 片的处理需求 |
| 预计采购时间： | 2026-08 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。