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中国科学院微电子研究所2024年9至12月政府采购意向-全自动化学品供液系统 详细情况

2024年09月20日 16:26 来源: 中国政府采购网 打印

全自动化学品供液系统
项目所在采购意向: 中国科学院微电子研究所2024年9至12月政府采购意向
采购单位: 中国科学院微电子研究所
采购项目名称: 全自动化学品供液系统
预算金额: 400.000000万元(人民币)
采购品目:
A02330300电子工业生产设备
采购需求概况 :
供液流量≥20slm,PLC控制,可实现自动手动切换,漏液报警系统,具备换液记录功能。操作界面:具有参数设定、手动运行、自动运行、状态监控、信息记录等功能。权限设置:具备3级权限
预计采购时间: 2024-10
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。