A02050910金属喷涂设备

喷镀仪，数量：1套 设备用途：用于扫描电镜及透射电镜样品喷镀，数量：1。 交付时间：2023年； 交付地点要求：广州校区东校园 售后服务要求：2年整机保修，2次免费培训 技术要求： 1、真空系统 1.1 真空泵：隔膜泵+涡轮分子泵（67l/s），无油真空系统 1.2 极限真空度：≤2×10-6mbar（连续抽真空24h） 1.3 真空计：Pirani真空计+冷阴极真空计 1.4 抽真空时间：仪器干净，分子泵全速，约需15分钟抽至5×10-5mbar， 约8分钟抽至10-4mbar（可以开始镀膜） 2、镀膜方式 2.1 离子溅射法 2.2 脉冲式碳丝蒸发镀膜法 3、离子溅射法 3.1 离子溅射电流：15-150mA，连续可调 3.3 溅射时间：1-1800s 可调 3.4 镀膜厚度：1-1000nm可调，自动终止，检测精度0.1nm 3.5 靶材直径：54mm，厚度最大1mm；可溅射过渡元素，如钴、镍 3.6 靶材相对样品台角度：25° 3.7 溅射用工作气体：氩气，纯度99.99%，减压阀输入压力：0.5 bar 3.8 氩气接口：6mm（G1/8"）快插接口，使用聚酰胺软管连接 3.9 氩气消耗：约18 sccm 3.10 破真空气体：氮气，纯度99.99%，减压阀输入压力：0.2-0.5bar 3.11 氮气接口：6mm（G1/8"）快插接口，使用聚酰胺软管连接 3.12 内置挡板，自动开启与关闭，用于预溅射时防止污染 4、碳丝蒸发法 4.1 蒸发模式：脉冲式碳丝蒸发（专利）* 4.2 一次可安装4组碳丝，单根或双根，自动检测和切换碳丝 4.3 镀膜厚度：1-100nm可调，自动终止，检测精度0.1nm 4.4 靶材相对样品台角度：25° 4.5 碳丝蒸发功率：最大780W 4.6 内置挡板，自动开启与关闭，用于除气时（degas）防止污染 5、样品仓 5.1 旋转速度：5档可调，触屏控制，马达自动调节 5.2 样品台角度：+/-60°可调，触屏控制，马达自动调节 5.3 工作距离调节范围：30-100mm，触屏控制，马达自动调节 6、手动样品台 6.1 三向可调样品台：可旋转，可倾斜，可调节工作距离 6.2 旋转速度：5档可调，触屏控制，马达自动调节 6.3 样品台角度：+/-60°可调，手动调节 6.4 工作距离调节范围：30-100mm，手动调节 6.5 样品台直径：104mm，带24孔，可插入24个SEM标准样品台（12.7mm） 7、QSG石英膜厚检测器 7.1 标配内置QSG石英膜厚检测器 7.2 检测精度：0.1nm 7.3 可设置镀膜厚度范围：离子溅射：1-1000nm，碳丝蒸发：1-100nm。