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大连理工大学2021年11月政府采购意向-反应离子刻蚀机采购 详细情况
2021年10月20日 15:56 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 反应离子刻蚀机采购 | |
| 项目所在采购意向： | 大连理工大学2021年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 大连理工大学 |
| 采购项目名称： | 反应离子刻蚀机采购 |
| 预算金额： | 355.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A032103电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 本项目拟采购一台反应离子刻蚀机，要求高刻蚀精度、高质量、高深宽比、高均匀度、高刻蚀稳定性的先进刻蚀机，用来制备纳米级高深宽比的芯片结构，满足纳米柱阵列的加工制备。 |
| 预计采购时间： | 2021-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。