A02052309专用制冷、空调设备

中央空调机，数量：1套。 该设备用于对保障半导体工艺设备及相关环境的洁净、恒温恒湿要求等，以保障半导体工艺设备的工艺和运行环境； 技术要求： 1、 恒温恒湿控制：温度控制20℃至25℃可调，温度波动小于±0.05℃，湿度控制45%至60%可调，湿度波动小于±5%，具体以现场实际需求为准； 2、 洁净度：根据设备工艺需要，可分区域分别提供百级、千级、万级的洁净度实验环境，具体以现场实际需求为准； 3、 实验室面积：约1000㎡，具体以现场为准； 4、 工作时间要求：7x24小时工作不停机； 5、 室外机：模块式外机，提供冷冻水，冷冻水温度不高于9℃； 6、 系统配置要求：包含且不限于系统需要的室外模块机组（或压缩机组及冷却塔），室内恒温恒湿风柜； 售后服务要求:不少于2年质保期，对所提供的货物在质保期内，因产品质量而导致的缺陷，必须免费提供包修、包换、包退服务。