A02100301显微镜

集成电路学院拟采购场发射扫描电镜（SEM)1套。 主要技术指标：分辨率二次电子像0.7nm@15KV，1.2nm@1KV（非样品台减速模式），在低电压观察模式下样品台可以倾斜；镜筒电子光路采用非交叉束设计；放大倍率8倍-200万倍,根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准，低倍率与高倍率无需模式更换；加速电压0.02kV～30kV，步进≤10V，连续可调,无需模式更换；电子枪配置肖特基热场发射灯丝，能够自动聚焦，具有倾斜校正功能；探针电流范围3pA-20nA，束流稳定度≤0.2%/h；静电透镜与磁透镜组合,镜筒设计要满足铁磁等磁性材料的近距离高分辨观测,以及EBSD不更换模式的使用；配置数量为7孔的物镜光阑，系统控制软件可自动控制光阑孔可更换与对中；能谱仪最佳分析工作距离为8.5 mm，X射线出射角35°；样品室内部尺寸不小于360mm（左右宽度）×360mm（前后进深），样品室内高度不小于270mm；配置五轴优中心全自动马达驱动样品台，样品台水平方向最大移动范围X轴为130 mm，Y轴为130mm，马达台Z轴最大移动行程为50mm，倾斜范围为-4°～+70°，可360°旋转；配置可快捷控制马达台五个轴向移动的双摇杆系统，配置多功能旋钮操作控制面板；工作距离可调范围0.1mm~50mm；配备样品室内二次电子探测器ETSE；配备镜筒内环形二次电子探测器，位于光路正光轴上，电子光路穿过环形探测器中心，探测器不能位于光路一侧；配备样品室内可抽拉式6分割背散射电子探测器；配置样品室内彩色红外CCD相机探测器，可实时监控样品室内样品和设备各部件之间的相互位置关系；配置样品电流检测器；电子束在特定位置扫描时，可同时开启成像探测器中的任意两个或者四个探测器同时成像，获得样品全方位信息；配备全无油真空系统；配备配备必要的机械干泵、分子泵、离子泵等，自动抽真空，完全气动阀自动控制；样品室真空度优于10-4Pa量级，电子枪真空度优于10-7Pa量级；标准模式下，无需拼图单幅图像最大存储分辨率为32k×24k像素；可自动调节功能包含电子枪对中、真空控制、亮度与衬度、调焦和象散、动态聚焦、漂移矫正、倾斜补偿；图像处理系统一套，基于Windows10操作系统的图形用户界面；配备电制冷能谱仪；配备电子背散射衍射仪；可配置主流的EBL，实现电子束曝光功能。 交付时间：合同签订或收到发货通知30天内。 交付地点：中山大学深圳校区理学园。 售后服务要求:3年质保期，对所提供的货物在质保期内，因产品质量而导致的缺陷，必须免费提供包修、包换、包退服务。