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东北师范大学2025年2至12月政府采购意向-金属有机物化学气相沉积系统 详细情况
2025年02月18日 09:59 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 金属有机物化学气相沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 东北师范大学2025年2至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 东北师范大学 |
| 采购项目名称： | 金属有机物化学气相沉积系统 |
| 预算金额： | 800.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02319900其他化学药品和中药设备 |
| 采购需求概况 ： | 该系统能够在精确控制的气相环境下实现高均匀性、高重复性的外延生长。具体需求：保证气流均匀分布，提高薄膜均匀性；具备高精度温控系统，基片温度稳定；配备高效真空系统，以保证沉积过程的洁净环境；具备多通道金属有机物和气体输送系统，可实现多种材料的共沉积；配备原位监测系统，可实时优化生长参数。 |
| 预计采购时间： | 2025-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。