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zycgr240415012025年4至10月政府采购意向-离子束沉积 详细情况
2025年04月16日 21:52 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 离子束沉积 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr240415012025年4至10月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr24041501 |
| 采购项目名称： | 离子束沉积 |
| 预算金额： | 900.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02062002电气物理设备 |
| 采购需求概况 ： | 1台
离子沉积源：150毫米；
沉积区域：不小于200毫米；
靶材数量：不少于4个靶材；
基板尺寸：8英寸晶圆；
最终产品检测：双晶片监测器或WLOM；
基板旋转：500转每分钟；
基板倾斜角度：0º至75º，介于束流和基板表面法线之间；
基板加热：内置加热器，0℃-300℃；
基板冷却：流体冷却剂，温度10℃-50℃；
辅助或预清洁源：射频离子源 |
| 预计采购时间： | 2025-09 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。