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湖南大学2022年3月政府采购意向-感应耦合等离子体刻蚀系统 详细情况
2022年01月18日 17:42 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 感应耦合等离子体刻蚀系统 | |
| 项目所在采购意向： | 湖南大学2022年3月政府采购意向 |
| 采购单位： | 湖南大学 |
| 采购项目名称： | 感应耦合等离子体刻蚀系统 |
| 预算金额： | 140.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100699 |
| 采购需求概况 ： | 1.采购标的名称：感应耦合等离子体刻蚀系统
2.采购标的需实现的主要功能或者目标：
用于半导体蓝绿光和红黄光器件的SiO、SiNx介质膜刻蚀；蚀刻速率：>1000Å/min；蚀刻厚度：1.2 ~ 1.4 μm；PR mask选择性：>0.6:1；蚀刻均匀性：片内：±5%，片间：±5%
3.采购标的数量：1套
4.采购标的需满足的质量、服务、安全、时限等要求： 满足行业基本要求 |
| 预计采购时间： | 2022-03 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。