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中国科学院上海技术物理研究所2025年12月政府采购意向-设备前端模块 详细情况
2025年12月09日 21:30 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 设备前端模块 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院上海技术物理研究所2025年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 采购项目名称： | 设备前端模块 |
| 预算金额： | 350.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02069900其他电气设备,A02062300电气设备零部件,A02330300电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 1、具有对晶圆料盒自动充氮气置换氧气功能；
2、具有对设备本体自动充氮气置换氧气功能；
3、晶圆传输过程的氧气浓度：≤500ppm；
4、具有设备内部氧气浓度实时监测功能。 |
| 预计采购时间： | 2025-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。