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东南大学2022年10至12月政府采购意向-旋涂-烘烤一体机 详细情况
2022年10月20日 16:00 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 旋涂-烘烤一体机 | |
| 项目所在采购意向： | 东南大学2022年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 东南大学 |
| 采购项目名称： | 旋涂-烘烤一体机 |
| 预算金额： | 115.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A033499其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 购置1套。
1.最大支持12寸晶圆
2.旋转速度：0 –6000rpm，转速调节精度1rpm，加速度在0.6s内达到6000rpm
3.涂胶均匀性小于±4%
4.热板最大支持12寸晶圆，最高温度250°C
温度精度: +/- 0.8°C@100°C. |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。