A02100309激光仪器

采购项目名称：西南交通大学多光路耦合超快光学原子级加工装备采购。采购数量：一套。拟实现的目标功能：面向航空航天难加工材料、半导体/光学元件及高端精密构件的超精密加工研究。设备应具备多波段超快激光输出与多光路稳定传输能力，支持不同光路灵活切换、振镜扫描与物镜直写等加工模式，并配置高稳定承载平台、精密运动控制、视觉/测距辅助定位和专用加工软件。主要用于原子层可控去除、表面微纳结构制备、材料表面改性、复杂结构微孔/微槽加工及相关工艺机理研究，满足科研实验、样件验证和人才培养需求。质量及服务要求：设备须满足技术参数要求，性能稳定、精度达标，资料齐全；供方负责运输、安装调试、联机标定和培训，提供质保维修、技术支持及备件供应；设备符合安全规范，按期完成供货、验收并投入使用。