A02100301显微镜

飞秒激光-聚焦离子束三束电子显微镜，数量1台。技术要求：用于金属、陶瓷、半导体、电介质、多层膜结构，地质化石等固体样品上制备微纳结构；大体积横截面获取，毫米级 3D 激光连续切片，包括使用 EDS 或 EBSD 进行分析 表征，高质量定点TEM样品制备；化学和晶体结构三维形态分析；离子束刻蚀、离子束沉积、电子束沉积。 1离子束分辨率： 2.5 nm @ 30 kV 2.离子束流强度：0.1 pA – 100 nA800 3. 电子束分辨率：在最优工作距离：0.6 nm @ 2kV-15 kV; 0.7 nm @ 1 kV; 1.0 nm @500 V (非样品台减速) 4.激光集成：完全集成在样品室内，3 条光束（SEM/FIB/激光）汇聚于相同的重合点，实现准确和可重复的切割位置，以及 3D表征 5. 电子枪具备单色器设计，单色模式下色差小于0.2eV，在低电压下具有高分辨观察性能，能够直接观察不导电样品 6.配备高精度5轴样品台，压电陶瓷驱动 7.配备自动TEM样品制备软件：可实现全自动控制TEM样品制备过程，包括自动控制机械手的伸缩、样品与针尖的焊接、样品减薄、低电压清洗样品非晶区、以及样品的提出及转移焊接至支架的整个制备过程。 8. 配备自动连续切片与图像、能谱、EBSD三维数据自动记录功能，配备三维数据重构软件及相应高端工作站。 交付时间要求：收到信用证或发货通知后6个月内。交付地点要求:中山大学珠海校区化学工程与技术学院。售后服务要求（含培训）：整机免费保修期2年或以上。提供2次培训：第一次在用户所在地对用户进行为期2天的培训，培训内容包括仪器的技术原理、操作、数据处理、基本维护等。第二次验收后一年内组织卖方高级技术人员到用户所在地进行高级培训。