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南京大学2022年11至12月政府采购意向-等离子体ICP-RIE刻蚀机 详细情况
2022年10月18日 16:46 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 等离子体ICP-RIE刻蚀机 | |
| 项目所在采购意向： | 南京大学2022年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 南京大学 |
| 采购项目名称： | 等离子体ICP-RIE刻蚀机 |
| 预算金额： | 390.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02330300 电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 采购等离子体ICP-RIE刻蚀机一台，参数性能满足：-40到300℃，8气路，RF功率0到600W，ICP功率0到1500W；服务要求：可提供技术支持和售后服务，设备质保期12个月。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。