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中山大学2022年11月政府采购意向-多波长多点位椭偏仪 详细情况
2022年10月17日 16:54 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 多波长多点位椭偏仪 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | 多波长多点位椭偏仪 |
| 预算金额： | 150.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100304光学测试仪器 |
| 采购需求概况 ： | 设备名称：多波长多点位椭偏仪
数量：1套
用途：该设备用于对光波导平台wafer的应用波段内准确测折射率，通过椭偏仪可以进行多波长、多点位的准确测试折射率，对准确设计先进光通信系统所需的集成光子集成器件和模块非常重要。
技术要求：1.测量能力：
？Spectroscopic Ellipsometry (SE)（标准椭偏） : 在整个光谱范围内同时测量 Psi和 Delta
？ Generalized SE（通用椭偏） : 对应各向异性样品的完整 2x2 琼斯矩阵
？ Intensity（强度） : 透过率与反射率，包括各向异性项的交叉偏振强度
2.光谱范围：XI+: 210-2500 nm 1040 波长点
3.数据采集速率：全光谱测量只需1/3 秒 - 包括高级数据类型
4.角度范围：固定角：65°；水平自动变角：45°- 90°；垂直自动变角：20°- 90°
交付时间要求：2022-11
交付地点要求：国重室424室
售后服务要求：设备到位后两周内安排技术培训 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。