A033499其他专用仪器仪表

射频磁控溅射设备，1台。受凝聚态领域拓扑物态相关概念启发，一种新的以光学系统中的拓扑现象为研究对象的领域—拓扑光学蓬勃发展。光子晶体作为拓扑光学的平台，是实现光量子霍尔效应的研究热点。以光子晶体为平台，通过打破普通光子晶体结构的空间反演对称性或时间反演对称性，有望实现光量子霍尔效应，在光子计算、光波调控、光学隐身等领域极具应用前景。掺杂改性技术是灵活调控薄膜材料特性的有效手段，能够进行多种金属、介质、压电、铁电、铁磁等薄膜材料的单相生长及共溅射生长的先进溅射设备，是实现掺杂改性功能薄膜制备的必要设备，该镀膜设备是生长光量子霍尔效应超构材料的亟需平台条件。该薄膜制备平台的建设将有力支撑我院乃至我校多项国家自然基金、国防重大和重大项目研究，推动仪器科学与技术、智能感知工程、光学工程等学科建设，实现每年开发共享机时1500小时以上。