A02109900其他仪器仪表

（一）采购标的名称：集成电路超高真空高低温环境测试系统 （二）采购标需实现的主要功能或者目标 集成电路超高真空高低温环境测试系统包括闭循环高低温探针台，开循环高温探针台，半自动高低温探针台。闭循环探针台提供超高的真空环境和可控的变温环境，最低温度可低于10K，同时避免了制冷剂的消耗。开循环高低温探针台也要满足高的真空环境，主要用于常温测试。半自动高低温探针台能完成晶圆级电学测试的，并保证晶圆上器件高温稳定性测试的稳定性。集成电路超高真空高低温环境测试系统对集成电路、二极管及光电探测器等微纳器件的IV/CV参数等电学、光学性能测试与表征，能够实现低温、真空的测试环境，并进行高精度的直流/低频测试，可对微纳器件及相关样品的电学特性进行测量。 （三）采购标的数量：1套 （四）采购标需满足的质量、服务、安全、时限等要求 合同签订并收到预付款或者LC后10个月内交货，自验收合格之日起质保期不少于一年。各项技术参数符合相关国家标准以及采购技术要求。须提供在售全新设备，不得为停产型号或翻新机。