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中山大学2022年11至12月政府采购意向-电子与信息工程学院特征尺寸测量扫描电镜采购项目 详细情况
2022年10月13日 10:55 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 电子与信息工程学院特征尺寸测量扫描电镜采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2022年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | 电子与信息工程学院特征尺寸测量扫描电镜采购项目 |
| 预算金额： | 864.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A032103电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 特征尺寸测量扫描电镜，数量1套。该设备是依靠高分辨率的扫描电子显微镜快速测量晶圆中各芯片的光刻胶图形尺寸。主要技术指标：（1）适用于8英寸晶圆；（2）测量方法：游标和线轮廓测量；（3）测量范围:0.05μm - to 2μm；（4）测量重复性：±1% or 2nm (3 sigma)；（5）吞吐量≥30 wafers/hour，测试点1/chip, 5 chips/wafer；（6）二次电子图像分辨率：3nm（加速电压0.8 kV）；（7）扫描电镜图像:x500到x300000，测量重复性保证范围:x40000至x200000，光学显微镜图像：x110。售后服务要求：2年质保期，包含人工服务及故障处理所需备件(易损易耗件除外)。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。