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大连理工大学2022年11至12月政府采购意向-大连理工大学射频容性耦合等离子体刻蚀实验台等设备采购项目 详细情况
2022年11月22日 16:41 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 大连理工大学射频容性耦合等离子体刻蚀实验台等设备采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 大连理工大学2022年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 大连理工大学 |
| 采购项目名称： | 大连理工大学射频容性耦合等离子体刻蚀实验台等设备采购项目 |
| 预算金额： | 190.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02062002电气物理设备 |
| 采购需求概况 ： | 体源刻蚀实验台主要分三部分（1）等离子体真空腔体；（2）射频电源；（3）真空获得设备。其功能：于将射频电源的能量通过容性耦合的方式注入到真空室内的平行板之间，击穿工作气体，产生大面积稳定的等离子体。等离子体中产生的活性基团及高能离子分别化学反应及溅射的方式与材料相互作用，对材料进行刻蚀或者沉积薄膜。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。