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中国科学技术大学2026年5至12月政府采购意向-热反应系统 详细情况
2026年05月21日 15:16 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 热反应系统 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学技术大学2026年5至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学技术大学 |
| 采购项目名称： | 热反应系统 |
| 预算金额： | 750.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02109900其他仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 可兼容4-6寸晶圆；4管及以上配置，满足LPCVD氮化硅沉积、氧化-退火、TEOS-SiO2沉积和多晶硅沉积工艺需求；升温时间（室温--1200℃）：≤120min；工作温度：350℃~1200℃；氧化-退火工作温度1200℃（N2,O2,H2）；恒温区长度：≥800 mm；恒温区温度要求：±1℃（800mm） |
| 预计采购时间： | 2026-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。