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清华大学2023年10月政府采购意向-压电材料干法刻蚀机 详细情况
2023年07月08日 12:14 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 压电材料干法刻蚀机 | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2023年10月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 压电材料干法刻蚀机 |
| 预算金额： | 2400.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100699其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况 ： | 本设备主要用于压电MEMS陀螺仪工艺中的压电材料刻蚀图形化，是该器件工艺的核心设备。
1. 8英寸兼容6英寸晶圆；
2. 压电材料刻蚀速率＞100nm/min |
| 预计采购时间： | 2023-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。