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中山大学2025年1月政府采购意向-中山大学电子与信息工程学院原子层沉积系统采购项目 详细情况
2024年12月02日 20:34 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 中山大学电子与信息工程学院原子层沉积系统采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2025年1月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | 中山大学电子与信息工程学院原子层沉积系统采购项目 |
| 预算金额： | 120.300000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100502非金属材料试验机 |
| 采购需求概况 ： | 原子层沉积系统（1套）：用于沉积氧化物（氧化铝、氧化铪）、氮化物（氮化钛）等。
1) 适用于8英寸以及小尺寸样品薄膜沉积
2) 设备本底真空优于3 Pa，设备漏率≤ 5×10-10 Pa·m3/s；
3) 控制方式：PLC+触摸屏
4) 多种沉积模式：快速模式、充分暴露模式和多元掺杂模式
5）薄膜均匀性：在8英寸晶圆上沉积300cycl氧化铝，以晶圆上5个均匀分散点（上、下、左、右、中心5点，边缘5mm除外）进行椭偏仪测试膜厚， 8英寸晶圆上薄膜不均匀性≤2%。
具体要求详见采购文件。供货期：签订合同之日起，4个月内交货到采购人指定地点，具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。 |
| 预计采购时间： | 2025-01 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。