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中国科学技术大学2023年9至12月政府采购意向-12英寸半自动探针台 详细情况
2023年09月03日 15:09 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 12英寸半自动探针台 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学技术大学2023年9至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学技术大学 |
| 采购项目名称： | 12英寸半自动探针台 |
| 预算金额： | 240.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A033499其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 名称：12英寸半自动探针台
功能：实现12英寸晶圆兼容8英寸与6英寸晶圆以及单芯片器件的IV/CV/PV 参数的在片测试，控制载物台的微米级移动
数量：1
质量：1.12 英寸半自动常温测试探针台，集成一体化屏蔽微暗室，含一体化防震底座。
2. 支持与半导体参数分析仪集成、支持12英寸晶圆兼容8英寸与6英寸晶圆以及单芯片器件的IV/CV 参数的测试。
3. 载物台移动范围：X/Y 方向移动范围＞310mm x 308 mm ； Z 方向移动范围为≥30 mm。
4. 载物台移动分辨率：X/Y 方向＜0.6 μm ；Z方向＜0.3μm。
5. 载物台移动重复性精度：X/Y 方向 ≤±1μm；Z方向≤±1μm。
6. 载物台移动精度：X/Y 方向 ≤±2 μm；Z方向≤±2μm。
7. 载物台旋转范围为≥± 5.0°；旋转精度＜2.0μm；旋转分辨率≤0.0001° 。
8. 载物台直径＞308mm, 平坦度≤± 5μm。
9. 载物台XY方向移动速度最快≥50 mm /sec，最慢≤10μm / sec。
10. 载物台支持最小测试器件尺寸≤ 4mm x 4 mm。 |
| 预计采购时间： | 2023-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。