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中国科学院化学研究所2025年3至12月政府采购意向-磁控溅射设备 详细情况
2025年03月14日 16:36 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 磁控溅射设备 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院化学研究所2025年3至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院化学研究所 |
| 采购项目名称： | 磁控溅射设备 |
| 预算金额： | 200.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100699其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况 ： | 主要包括控制单元、分子泵、机械泵、真空蒸镀腔体等单元，真空度能够达到10-6Pa以下，磁控阴极能够10 W持续放电，投入最大电力10 W/cm2。具有低速率溅射控制模式，能够性能均匀薄膜。基板加热温度达300℃。 |
| 预计采购时间： | 2025-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。