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中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2025年5至7月政府采购意向-设备转接系统 详细情况
2025年04月10日 09:54 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 设备转接系统 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2025年5至7月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 采购项目名称： | 设备转接系统 |
| 预算金额： | 825.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100699-其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况 ： | 设备转接系统是实现工艺设备对接到超高真空管道上的过渡设备，具有真空环境过渡和样品传输等功能，要实现的功能和技术指标如下：
1、极限真空：≤2×10-10 Torr，真空检漏漏率：≤8×10-11 Torr.L/S。
2、实现原设备与超高真空管道真空环境过渡，若设备对接腔体极限真空度≥3.8×10-8 Torr，转接系统必须配置极限真空度≤3.8×10-8 Torr的过渡腔体，并用插板阀隔断超高真空腔体，并保证设备与转接系统交换完样品后，30分钟内过渡室腔体真空度恢复到≤5×10-7 Torr；
3、 实现设备与管道之间样品交换，交接位处样品交接准确、阀门开启灵活；
4、传输样品尺寸：2英寸晶圆或者带有小样品的2英寸圆形过渡托；
5、实现2英寸晶圆样品翻面功能（晶圆样品厚度为0.5mm~2mm），并能实现样品取下和安放到MBE自带圆环样品托上。
6、实现管道与转接系统之间自动化样品交接， 控制系统与管道的控制系统兼容，以及在总控系统、支线控制系统和单元控制系统上，实现三级人机交互界面上显示和操控；
7、配置必要的观察窗、照明和烘烤带；
8、各个标准法兰与现有的真空管道法兰外观一致 |
| 预计采购时间： | 2025-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。