A033499其他专用仪器仪表

激光直写光刻机，1台。微纳器件的高质量高精度加工生产，对于微纳光学学科的进一步研究发展和产业化具有重要意义。该设备无需用掩膜加工，大幅节约了掩模加工费用，灵活性高，加工精度高、面积大、速度快，能为国防和消费领域的重大科研任务提供必需的加工平台支撑，能为理论研究提供可靠的实验验证进而促进重要科研成果的产出。设备的引入能加强研究生创新能力的培养，打开研究生思维局限性，科教融合，全方面培养学生能力。设备拟实行开放共享服务，有效提高设备的利用率，为校内外其他微纳光学领域的研究提供小批量实验加工平台。因此，引入该设备，能极大促进以超材料、量子光学芯片为代表的等微纳光学学科和其他相关学科的产学研发展。