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中国科学院微电子研究所2025年6月政府采购意向-金属及金属氧化物电感耦合等离子体刻蚀设备 详细情况
2025年02月08日 18:58 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 金属及金属氧化物电感耦合等离子体刻蚀设备 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院微电子研究所2025年6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 金属及金属氧化物电感耦合等离子体刻蚀设备 |
| 预算金额： | 860.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02330300-电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 采购标的名称：金属及金属氧化物电感耦合等离子体刻蚀设备。采购数量为1台。采购标的主要功能：满足8英寸晶圆薄膜刻蚀腔体，腔体数量为2个，均为ICP刻蚀，用于刻蚀InO GaO ZnO Ru Mo ITO TiN等薄膜材料薄膜片内均匀性≤3%；薄膜刻蚀片间均匀性≤3%，采购标的需满足的质量，服务，安全，时限：提供设备验收合格后1年质保及一体化环境工程整体解决方案；设备订单生成后10月内交货安装完成。 |
| 预计采购时间： | 2025-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。