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中山大学2025年1月政府采购意向-中山大学电子与信息工程学院等离子体增强化学气相沉积采购项目 详细情况
2024年12月02日 20:34 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 中山大学电子与信息工程学院等离子体增强化学气相沉积采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2025年1月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | 中山大学电子与信息工程学院等离子体增强化学气相沉积采购项目 |
| 预算金额： | 260.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100502非金属材料试验机 |
| 采购需求概况 ： | 等离子体增强化学气相沉积（1台）：最大样品尺寸8英寸，向下兼容小尺寸样品；采用CCP-CVD(电容耦合)方式沉积SiO2、SiNx、SiON；8英寸样品范围内沉积SiO2的均匀性≤3%，沉积速率是1000~15000Å/min；8英寸样品范围内沉积SiN的均匀性≤3%，沉积速率是1000~10000Å/min
具体要求详见采购文件。供货期：签订合同之日起，6个月内交货到采购人指定地点，具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。 |
| 预计采购时间： | 2025-01 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。