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同济大学2022年10至12月政府采购意向-离子束溅射镀膜机（氟化物）设备 详细情况
2022年10月27日 10:15 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 离子束溅射镀膜机（氟化物）设备 | |
| 项目所在采购意向： | 同济大学2022年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 同济大学 |
| 采购项目名称： | 离子束溅射镀膜机（氟化物）设备 |
| 预算金额： | 1300.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A9999其他不另分类的物品 |
| 采购需求概况 ： | 离子束溅射镀膜机（氟化物）的采购，用于193nm波长的光学薄膜的制备，需要使用离子束溅射设备（氟化物）进行攻关工作，采购数量1套，设备能够溅射制备高性能氟化物光学薄膜。规格参数：高真空腔室：极限真空8.0×10(-8)；沉积样品夹具：φ4×310mm&φ2×310mm；夹具转速：行星式转动0.05rps~0.4rps；透射式直接宽光谱光学监控系统：波长范围400-1050nm，分辨率：0.67nm；透射式直接单波长监控系统：波长范围350-2100nm，分辨率：0.1nm；溅射源：16cmRF离子源&12cmRF离子源；靶材：双旋转溅射靶材组件，φ355.6×25.4mm; 真空系统：分子泵、机械泵、Polycold，独特的氟气专用管路，专为氟化物镀膜配备。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。